方式等应用要求。对输出模块，应考虑选用的输出模块类型，通常继电器输出模块具有价格低、使用电压范围广、寿命短、响应时间较长等特点；可控硅输出模块适用于开关频繁，电感低功率因数负荷场合，但价格较贵，过载能力较差。输出模块还有直流输出、交流输出和模拟量输出等，与应用要求应一致。
可根据应用要求，合理选用智能型输入输出模块，以便提高控制水平和降低应用成本。
考虑是否需要扩展机架或远程I/O机架等。
ASML 4022.471.6555 New SVG Board
ASML 4022.456.39541 8” Wafertable Cont. Clamp Flat
ASML 4022.428.11160 Velocity Module SVG
ASML 4022.471.9353 AND 4022.471.8775
ASML 4022.486.55123 Pressurized Glass SVG
CFT Engineering 8122-413-5052 ASML/SVG DCPA 50/2
ASML 4022.480.0509.4 AWH External Docking Unit Assy.
