(五)冗余功能的选择
1．控制单元的冗余
(1)重要的过程单元：（包括存储器）及电源均应1B1冗余。
(2)在需要时也可选用PLC硬件与热备软件构成的热备冗余系统、2重化或3重化冗余容错系统等。
2．I/O接口单元的冗余
(1)控制回路的多点I/O卡应冗余配置。
(2)重要检测点的多点I/O卡可冗余配置。3）根据需要对重要的I/O信号，可选用2重化或3重化的I/O接口单元。
ASML 4022.436.6374 DSPVV V2.1 IDE SVG
ASML 4022.436.3685/Motorola MVME 147S-1 Board SVG
CFT Engineering 8122-413-3577 ASML/SVG DCPA 50/2
ASML 4022.502.26008 New Shutter Blade Assy SVG
ASML 4022.471.6418 AT IM Shutter Booster SVG
ASML 4022.480.6790 Optical Unit SVG
ASML/SVG 859-0929-006A Stage Decoupling/Over Current
ASML 4022.436.4196 Attenuator Board SVG
ASML 4022.454.5500 Optical Item SVG
