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小型机控制点可达100多点，以至于多。如OMRON公司的CPM2A、CP1H、CQM1H，则分别可达到120、320、512点。公司的S7200机可也达一百多点。新推出S7-200 CN为中国版机型。当大配置时，控制点数可达248路（称I/O点为路）。三菱公司的FX2N多点数也可达256点，而FX3UC机可达300多点。
中型机控制点数可达近500点，以至于以千点计。如OMRON公司CJ1H机可超过2000多点。德国公司的S7300机多可达512点（开关量），新推出的318-2也可超过1000点（开关量）。此外，还可另加128路模拟量输入或输出。三菱的Q系列的基本型机，控制点数也可达2048点。
大型机控制点数一般在1000点以上。如OMRON公司的。CS1H机大配置可达5000多点。三菱的Q系列的机，控制点数也可达8192点。
超大型机控制点数可达万点，以至于几万点、10几万点、几十万点。如美国GE公司的90-70机，其点数可达24000点，另外还可有8000路的模拟量。的S7-417-4机，其控制点数可达128K开关量输入、128K开关量输出，或8K的模拟量入及模拟量出。
应该讲，以上这种划分是不严格的，只是大致的，所介绍的情况也是会有变化的，目的只是帮助读者建立控制规模的概念，以便于日后便于进行系统配置及使用。
3．按结构特点分:
可分为箱体式与模块式。近期还出现有内插板式。
APPLIED MATERIALS – 0010-39749 – DPS R1,UNIVERSAL,CERAM
APPLIED MATERIALS – 0010-40276 – E-CHUCK PEDESTAL ASSY
APPLIED MATERIALS – 0010-40276 – E-CHUCK PEDESTAL ASSY
APPLIED MATERIALS – 0010-40296 – ANTENNA-DOME ASSY,DOS
APPLIED MATERIALS – 0010-70064 – CHAMBER ASSY LOAD LOCK
APPLIED MATERIALS – 0010-70403 – ASSY, G-12 AFS LID
APPLIED MATERIALS – 0010-70403 – ASSY, G-12 AFS LID
APPLIED MATERIALS – 0010-76467 – HEAT EXCHANGER
APPLIED MATERIALS – 0010-76543 – ASSY HEAT EXCHANGER
APPLIED MATERIALS – 0010-77153 – COUPLING,FLEX,ROBOT
APPLIED MATERIALS – 0010-77686 – ASSY, UPPER ARM ASSY
APPLIED MATERIALS – 0010-77825 – ASSY LWR ELECTRONIC
APPLIED MATERIALS – 0010-90159- MODULE PUMP TUBE
APPLIED MATERIALS – 0010-90278 – MODULE BEAM PROFILER
APPLIED MATERIALS – 0010-91067 – SIF3 GAS MODULE (9500)
APPLIED MATERIALS – 0010-91475 – INDEXER 150″
APPLIED MATERIALS – 0010-93152 – ASSY PURGE HEATER, 200
APPLIED MATERIALS – 0020-21042 – WEIGHT CLAMP RING 8″
APPLIED MATERIALS – 0021-38101 – CHAMBER LID, NGDT
APPLIED MATERIALS – 00220730022 – FAN UNIT WIDE
APPLIED MATERIALS – 0040-04982 – RING, CLAMP, UPPER,
APPLIED MATERIALS – 0040-05528 – CHAMBER BODY
APPLIED MATERIALS – 0020-17876 – INSULATOR, BELLOWS
APPLIED MATERIALS – 0040-18024 – E-CHUCK,200MM,MKA
APPLIED MATERIALS – 0040-32463 – UPPER MAGNET LINER
APPLIED MATERIALS – 0040-32543 – RING, MAGNET, LOWER
APPLIED MATERIALS – 0040-32543 – RING, MAGNET, LOWER
APPLIED MATERIALS – 0040-32630 – 8 HT DX2 HEATER
APPLIED MATERIALS -0040-39045 – SHOWERHEAD, DUAL
APPLIED MATERIALS – 0040-40945 – PLATE, CLAMP LID,EMAX
