0010-44213 AMAT是半导体设备中的一个关键组件,具体为晶圆提升组件。该组件在晶圆处理系统中发挥着重要作用,如化学气相沉积(CVD)、物理气相沉积(PVD)、离子注入以及蚀刻等设备中,均可见其身影。它主要用于支持晶圆的搬运、提升和精确定位,确保晶圆在加工过程中的高精度和稳定性。
产品参数
型号:0010-44213
品牌:Applied Materials(AMAT)
主要功能:实现晶圆在半导体设备内部的稳定提升、搬运和位置调整,支持精准工艺操作。
支持精度:亚微米级,确保晶圆定位的可靠性。
适用晶圆尺寸:支持200mm和300mm晶圆。
材料:使用高强度、低摩擦材料制造,耐高温、耐腐蚀,适用于苛刻的半导体加工环境。
温度范围:耐高温环境,通常在150°C~450°C之间工作。
真空兼容性:支持高真空条件下运行。
动作控制:支持线性提升或旋转运动,具体取决于设备配置。
重量:约1.5kg
尺寸:200mm x 150mm x 50mm
输入电压:100~240 VAC
输出电压:24 VDC
工作温度:-10°C~60°C
通信协议:Modbus,Ethernet

0010-44213 AMAT晶圆提升组件广泛应用于半导体制造领域,特别是在晶圆处理系统中。它支持从传送装置到工艺腔体的晶圆转移,确保高效、精准的处理流程。在蚀刻、薄膜沉积、氧化等工艺中,该组件能够将晶圆提升至工艺位置并保持稳定,从而提升生产效率。此外,它还支持全自动化晶圆生产线的运输和处理系统,进一步提高了生产效率和产品质量。
品牌介绍
Applied Materials(AMAT)是一家领先的半导体设备制造商,致力于为全球半导体行业提供创新的产品和解决方案。该公司在半导体制造设备领域拥有深厚的技术积累和市场经验,其产品广泛应用于晶圆加工、封装测试等各个环节。AMAT的产品以其高性能、高可靠性和高精度而著称,深受全球客户的信赖和好评。




