1140-01634 AMAT

详细参数表

产品简介

1140-01634 AMAT 是一款专为Applied Materials（应用材料公司）先进半导体制造设备设计的关键电源模块。作为AMAT设备内部电力供应的核心组件，1140-01634 负责将外部交流电源转换为设备运行所需的稳定、精确的直流电压。它在晶圆加工的各种复杂工艺中扮演着至关重要的角色，例如在薄膜沉积（PVD/CVD）、刻蚀、离子注入等过程中，为腔体电源、RF发生器、运动控制系统、真空泵以及各种传感器和控制器提供可靠的电力支持。

1140-01634 AMAT 的技术定位在于提供高度集成、高效率且极度可靠的电力输出，以满足半导体制造设备对电源质量的严苛要求。它通常具备多路输出、过压/过流保护、远程监控等功能，确保设备在长时间、高负荷运行下的稳定性和工艺的一致性。这款电源模块是AMAT设备能够实现高精度、高良率生产的关键保障，是维持半导体晶圆生产线连续运行不可或缺的核心备件。

核心优势与技术亮点

1140-01634 AMAT 作为应用材料公司半导体设备的核心组件，具有多项显著优势：

极高可靠性与稳定性： 在半导体制造中，任何微小的电源波动都可能导致晶圆报废。1140-01634 AMAT 经过严格的工业级测试和验证，确保其在极端运行条件下的输出电压和电流的极高稳定性。它具备快速瞬态响应能力，能够有效抑制电网波动对设备运行的影响，最大程度地减少工艺中断和生产损失。

定制化与无缝集成： 1140-01634 是为AMAT特定设备型号或系列定制的电源解决方案，这意味着它与AMAT设备的电气接口、机械结构和控制系统实现了完美的兼容性。这种无缝集成特性大大简化了设备的安装、替换和维护，缩短了停机时间，并确保了原厂设备的最佳性能表现。

高效率与节能： 现代半导体设备对能耗有严格要求。1140-01634 AMAT 采用先进的电源管理技术和高效率拓扑结构，最大程度地减少了能量损耗。更高的效率不仅降低了设备的运营成本，也减少了发热量，有助于维持洁净室环境的稳定。

智能保护功能： 1140-01634 通常内置多重保护机制，如过压保护（OVP）、过流保护（OCP）、短路保护和过温保护。这些功能能够在检测到异常情况时迅速切断输出，保护电源模块自身及与其连接的昂贵半导体设备免受损坏，显著提升了系统的安全性。

长寿命与低维护： 基于AMAT对备件的严苛要求，1140-01634 采用高质量的元器件和坚固的封装技术，旨在提供超长的使用寿命和较低的维护需求。减少了故障率，降低了整体拥有成本（TCO）。

典型应用场景

1140-01634 AMAT 是应用材料公司各种尖端半导体制造设备不可或缺的组成部分，广泛应用于：

晶圆薄膜沉积设备（PVD/CVD）： 在物理气相沉积（PVD）和化学气相沉积（CVD）系统中，1140-01634 为磁控溅射电源、RF发生器、加热器、气体流量控制器和真空泵等关键子系统提供稳定电源，确保薄膜的均匀性、致密性和纯度。

晶圆刻蚀设备： 在干法刻蚀（Plasma Etch）设备中，1140-01634 为等离子体源、偏压电源和腔体控制单元提供精确供电，支撑等离子体的生成和维持，实现晶圆图案的精准转移。

离子注入设备： 在离子注入机中，1140-01634 为高压电源、束流控制单元、晶圆搬运系统等提供稳定电力，确保离子束的精确聚焦和剂量控制，对半导体掺杂工艺至关重要。

晶圆清洗与表面处理设备： 在CMP（化学机械抛光）和湿法清洗设备中，1140-01634 为抛光头驱动、流体输送系统、UV清洗单元等提供稳定供电，保障晶圆表面质量和洁净度。

度量衡与检测设备： 在AMAT的各种度量衡（Metrology）和检测（Inspection）设备中，1140-01634 同样提供核心电力支持，确保高精度光学系统、电子束系统和自动化搬运系统的稳定运行，进行晶圆缺陷检测和工艺参数测量。

相关型号推荐

• AMAT 0190-XXXXX：AMAT的通用备件和模块，许多是电源或控制板，可能与 1140-01634 属于同一类设备或为其配套。
• AMAT 0100-XXXXX：AMAT的控制板或电源相关部件，可能与 1140-01634 在功能或系列上有所关联。
• XP Power FleXPower系列：XP Power是 1140-01634 的可能实际制造商，其FleXPower系列是模块化、可配置的电源，适用于AMAT等OEM客户。
• Mean Well RSP系列电源：虽然不是直接替代，但Mean Well是工业电源的常见供应商，其高功率RSP系列电源在某些通用应用中可作为参考。
• TDK-Lambda Genesys系列电源：高性能可编程电源，在实验室或测试环境中可用于模拟或替代 1140-01634 的功能。