12144-JA24-ACU1/0827 VAT

VAT 12144-JA24-ACU1/0827 真空闸阀

12144-JA24-ACU1/0827 是由 VAT 制造的一款高性能真空闸阀。作为全球领先的真空阀门制造商，VAT的该型号阀门属于其 12.1 系列（或称121系列），专为高真空（HV）和超高真空（UHV）应用设计，通过气动双作用执行器实现快速、可靠的真空隔离。型号中的 JA24 表明其法兰类型（通常为JIS兼容法兰）和气动执行器配置，而 ACU1 和 0827 则指示更具体的配置或序列号。

应用场景

在半导体制造、薄膜沉积、LED生产、太阳能电池制造、科研（如粒子加速器、同步辐射光源）、航天模拟以及其他需要严格真空环境的工业和科研领域，精确、快速的真空隔离是核心要求。想象一下，一个复杂的半导体沉积设备，在不同工艺阶段需要对腔室进行精确的真空分区或快速排气/充气，以防止交叉污染并确保工艺的一致性。

在这种对真空度和洁净度要求极致的场景中，VAT 12144-JA24-ACU1/0827 就如同真空系统中的“安全门”和“流量控制器”。它通过其精密设计的闸板，能够快速、可靠地在真空腔室之间或腔室与泵站之间建立或切断真空连接，从而实现工艺流程的精确控制、设备维护时的真空隔离以及紧急情况下的安全保护。正是因为 12144-JA24-ACU1/0827 这样高性能的真空闸阀具备卓越的密封性能、低泄露率和高循环寿命，才保障了先进真空工艺的稳定进行和高价值设备的长期可靠运行。

核心参数速览

技术原理与创新价值

VAT 12144-JA24-ACU1/0827 真空闸阀在真空技术领域的技术原理和创新价值体现在：

• 创新点1: 专利密封技术与超低泄漏率 VAT阀门的核心优势在于其卓越的密封技术，例如专利的“VATLOCK”或类似的阀座密封结构。这种设计使得阀门在关闭时能够形成极低的泄漏率（< 1 × 10⁻⁹ mbar l/s），即使在极端真空条件下也能可靠隔离，这对于维持高真空度、防止污染至关重要。密封材料的选择（如FKM）和精密的加工工艺，确保了在多次循环后依然能保持优异的密封性能，从而延长了使用寿命并降低了维护需求。

• 创新点2: 高速气动执行与高循环寿命 该阀门采用双作用气动执行器，能够提供快速、稳定的开关动作，这对于需要频繁切换真空状态的工艺流程（如半导体刻蚀、PVD/CVD沉积）至关重要。同时，VAT阀门以其高循环寿命而闻名，能够在数十万次甚至上百万次开关循环后依然保持良好性能。这得益于其优化的机械结构、精选的耐磨材料以及精密的加工精度，大大降低了设备的停机时间和维护成本，提升了生产效率。

• 创新点3: 模块化设计与环境适应性 12144-JA24-ACU1/0827 采用坚固的铝制阀体，并针对工业真空环境进行了优化设计，可承受一定的振动和温度变化。其模块化的设计使得阀门可以灵活配置不同类型的法兰（如JIS兼容法兰）、位置指示器以及外部控制元件。这种灵活性和适应性使得阀门能够轻松集成到各种复杂的真空系统中，满足不同应用场景的特定需求，同时简化了安装和维护过程。

应用案例与行业价值

在中国一家大型太阳能电池板制造商的PECVD（等离子体增强化学气相沉积）生产线上，需要处理大尺寸玻璃基板，并对真空腔室进行频繁的排气和工艺气体切换。旧有的真空阀门循环寿命短、维护频繁，导致产线停机率高，严重影响了生产效率。该制造商决定升级关键位置的真空隔离阀，并批量采购了 VAT 12144-JA24-ACU1/0827。