产品概述
MKS 1270-03927 是一款高性能的 Baratron® 电容式压力传感器，常与MKS内部部件号如41B51DCA2BA003相关联，它在精确测量绝对压力方面表现卓越，是真空系统和过程控制中的关键组件。作为MKS Baratron® 系列产品的一部分，1270-03927 采用先进的电容式传感技术，通过测量压力引起感应膜片位移所产生的电容变化，从而实现对真空和低压环境下的精确压力测量。这款传感器以其极高的精度、出色的稳定性和快速的响应时间而闻名，能够提供可重复且可靠的读数，即使在恶劣的工业环境中也能保持性能。1270-03927 在自动化系统中的定位是作为核心的压力反馈装置，广泛应用于需要精确控制和监测气体压力的半导体、薄膜沉积、制药以及其他高科技制造领域。其坚固的设计和对多种气体介质的兼容性，使其成为提升生产效率、优化工艺流程和保障产品质量的理想选择。通过集成MKS 1270-03927，用户能够实现对关键真空过程的精确控制，从而显著提高工艺的一致性和可靠性。
技术规格
主要特点和优势
MKS 1270-03927 电容式压力传感器凭借其在真空测量领域的领先技术，展现出多项显著特点和优势。首先，其核心的Baratron® 技术提供了无与伦比的测量精度和稳定性。这款传感器能够实现低于0.25%的读数精度，并且长期漂移极小，确保了即使在长时间运行和重复测量的情况下也能获得高度可重复的压力数据。这种高精度对于半导体制造、光学镀膜和制药等对工艺参数有严格要求的行业至关重要。其次，1270-03927 采用了全焊接、镍合金传感腔体设计，使其具备出色的耐腐蚀性，能够兼容各种腐蚀性气体，从而大大拓宽了其应用范围，并延长了传感器在恶劣工艺环境中的使用寿命。
此外，1270-03927 内部通常集成温度控制功能，能够消除环境温度变化对测量精度的影响，确保在宽泛的工作温度范围内依然提供稳定的性能。其快速的响应时间意味着能够实时捕捉压力的微小变化，为动态过程控制提供了及时准确的反馈。作为一款被动式传感器，它不依赖于气体成分，这意味着其测量结果不会受到气体种类变化的影响，从而提供了更普适和可靠的压力测量。MKS 1270-03927 的低维护需求和长使用寿命，结合其卓越的测量性能，为用户带来了显著的运营成本节约和更高的生产效率，是实现精密真空控制和优化工艺流程的关键工具。
应用领域
MKS 1270-03927 电容式压力传感器在多个对真空度有严格要求的工业和科研领域中扮演着不可或缺的角色。在半导体制造行业，它是薄膜沉积（PVD/CVD）、刻蚀、离子注入、扩散和清洗等关键工艺中的核心测量设备，用于精确控制反应腔体内的气体压力，直接影响晶圆的均匀性和良率。在显示器制造（如LCD和OLED）中，1270-03927 广泛应用于真空镀膜和封装工艺，确保了显示屏的色彩、亮度和寿命。
在制药和生物技术领域，1270-03927 可用于冻干、真空干燥、无菌传输和生物反应器中的压力监测，确保产品质量和工艺安全。在航空航天工业，它被用于空间模拟、真空热处理和材料测试，以模拟极端环境条件。此外，在真空冶金、光学涂层、科研实验室（如质谱仪、电子显微镜）以及通用真空设备制造中，1270-03927 也因其高精度和可靠性而被广泛采用，为这些领域的研发和生产提供了精确的压力数据支持，是优化工艺、提高效率和保证产品性能的关键工具。
相关产品
相关产品与MKS 1270-03927 相关的MKS产品线，通常包括其他Baratron® 电容式压力计、其配套控制器以及校准设备：
- MKS 41B系列: MKS 41B系列Baratron® 压力传感器，1270-03927 可能是该系列中的一个定制型号或变体，提供不同量程和接口。
- MKS 62X系列: MKS 62X系列Baratron® 压力传感器，提供更宽的测量范围或更高精度选项，可与 1270-03927 互为补充。
- MKS PDR900: MKS PDR900电源/显示器，用于驱动Baratron® 压力计并显示读数，是 1270-03927 的常用配套设备。
- MKS PR4000: MKS PR4000过程读取器，提供更高级的控制、显示和通信功能，适用于多通道系统。
- MKS 903系列: MKS 903系列倒置磁控冷阴极真空传感器，通常与电容式压力计（如 1270-03927）结合使用，以实现从大气压到超高真空的宽范围测量。
- MKS Calibration Standards: MKS提供的各种压力校准标准和系统，用于定期对 1270-03927 进行校准，确保其长期精度。
- MKS MFM/MFC系列: MKS质量流量控制器（MFC）和质量流量计（MFM），常与压力传感器（如 1270-03927）共同用于精确控制气体流量和压力。
安装与维护
安装前准备：在安装MKS 1270-03927 电容式压力传感器之前，请仔细阅读MKS提供的官方安装和操作手册。确保选择合适的安装位置，避免振动、强烈电磁干扰和极端温度。传感器的真空接口（如VCR或KF法兰）必须清洁无尘，并使用正确的密封件和安装工具，以确保真空系统的密封完整性。连接电源线和信号线时，务必核对引脚定义，确保接线正确，并提供稳定的电源供应，避免电压波动影响测量精度。在传感器首次通电前，建议对整个真空系统进行充分的预抽真空，以清除系统内的污染物和残留气体，从而保证 1270-03927 的初始测量精度。
维护建议：MKS 1270-03927 以其坚固耐用的设计而著称，通常需要较低的维护。然而，为确保其长期稳定和精确运行，仍建议进行以下维护：定期检查传感器的外部，确保没有物理损伤、腐蚀或灰尘堆积。虽然 1270-03927 的感应腔体具有耐腐蚀性，但在长时间暴露于高浓度腐蚀性气体后，可能会有沉积物影响测量。此时，应根据MKS的指导进行清洁，通常涉及使用非腐蚀性溶剂和无绒布，严禁使用任何可能划伤或损坏膜片的工具。避免对传感器施加机械冲击或过度振动，这可能导致内部敏感元件损坏。建议根据工艺要求和校准周期，定期对 1270-03927 进行专业校准，以确保其测量精度符合系统要求。在不使用时，应将其从真空系统上移除并妥善存放于清洁干燥的环境中。
产品保障
我们对MKS 1270-03927 电容式压力传感器提供全面的产品保障，以确保客户获得卓越的性能和可靠性。每一台 1270-03927 模块都经过严格的质量检测和校准，以满足MKS的高标准生产规范。我们提供标准的质量保证服务，覆盖因制造缺陷或材料问题导致的故障。在质保期内，若 1270-03927 出现非人为损坏的性能问题，我们将提供专业的维修或更换服务，力求将您的停机时间降至最低。此外，我们拥有经验丰富的技术支持团队，能够为客户提供MKS 1270-03927 的选型、安装、配置和故障排除等方面的专业咨询和指导。我们致力于通过提供高品质的产品和响应迅速的客户服务，确保您的真空测量和控制系统能够高效、稳定地运行，从而保障您的生产和科研工作的顺利进行。
