0040-39990 AMAT

产品概述

AMAT（Applied Materials）0040-39990是一款专用于半导体制造设备的静电吸盘组件，其全称为ESC ASSY, 200MM, DUAL ZONE, EMXP+。作为半导体晶圆处理设备中的关键部件，该静电吸盘主要功能是在真空工艺腔体内通过静电力牢固地吸附住200mm直径的硅晶圆，确保晶圆在等离子刻蚀、化学气相沉积（CVD）等高精度工艺过程中位置的稳定性和温度的均匀性。0040-39990的“双区”（Dual Zone）设计是其核心技术特点，允许通过独立的电极对晶圆的中心和边缘区域施加不同的静电吸附力和温度控制，从而有效解决半导体制造中常见的“晶圆翘曲”和“边缘效应”问题，保证整个晶圆表面处理的一致性。

该组件在AMAT的EMXP+系列设备中发挥着至关重要的作用。它不仅提供了精确的晶圆定位，还集成了温度控制功能，能够通过内置的加热/冷却系统精确调节晶圆的温度，这对于许多对温度敏感的半导体工艺至关重要。AMAT 0040-39990的可靠性和性能直接影响着半导体产品的良率和质量，是保障先进晶圆制造工艺成功的核心硬件之一。它的设计和制造需要极高的精度和材料纯净度，以确保在严苛的真空和等离子环境中长期稳定运行，是半导体设备维护和升级中的关键备件。

技术规格

主要特点和优势

AMAT 0040-39990静电吸盘组件的核心优势在于其专为200mm晶圆精密工艺设计的高级功能和卓越性能。其最大的特点是双区静电吸附和温度控制能力。这一设计允许工艺工程师根据具体需求，独立控制晶圆中心和边缘区域的静电吸附强度，从而实现对晶圆平整度的精确控制，有效抑制边缘效应。在等离子刻蚀等需要极高均匀性的工艺中，0040-39990的双区控温功能尤为关键，它能够通过差异化温度调节来补偿等离子体的不均匀性，确保刻蚀速率在整个晶圆表面保持一致，极大地提高了良率。

此外，该组件的高可靠性和耐用性也是其重要的竞争优势。它采用高纯度陶瓷材料制造，具有优异的耐等离子体侵蚀性能和绝缘性能，能够承受严苛的工艺环境。与AMAT EMXP+系列设备的完美兼容性，使得0040-39990能够无缝集成到现有生产线中，减少了集成和调试的复杂性。它还支持快速高效的晶圆吸附和释放，缩短了工艺周期时间，提升了生产效率。对于寻求优化200mm晶圆制造工艺、提高良率和设备可靠性的半导体制造商而言，AMAT 0040-39990是不可或缺的关键组件。

应用领域

AMAT 0040-39990静电吸盘组件是半导体制造设备的核心部件，其应用领域主要集中在晶圆制造的各个关键工艺环节。它广泛应用于等离子刻蚀设备中，用于在深硅刻蚀、介质刻蚀等工艺中牢固吸附晶圆，防止因等离子体冲击导致的晶圆移动或损坏。在物理气相沉积（PVD）和化学气相沉积（CVD）设备中，0040-39990通过精确的温度控制功能，确保沉积薄膜的均匀性和质量。

该组件也常用于离子注入设备，以保证晶圆在高速离子轰击下的位置稳定。此外，在其他需要精确晶圆定位和温度控制的半导体前道工艺设备中，AMAT 0040-39990同样扮演着关键角色。它的高性能使其成为制造高端集成电路、存储芯片和功率器件等对工艺精度要求极高的半导体产品的理想选择。该组件的专有性和技术先进性，使其在AMAT EMXP+系列设备中具有不可替代的地位，是维护和提升这些设备性能的核心保障。

相关产品

• 0040-04951：与0040-39990相关的另一款静电吸盘型号，可能在规格或应用上有所差异，常被作为替代或同类型备件。
• 0010-05966：AMAT Super-e ESC的另一款静电吸盘，可与0040-39990在某些应用中互为补充。
• AMAT EMXP+：0040-39990所应用的主设备系列，包括刻蚀机、沉积设备等。
• AMAT DUAL ZONE CHILLER：用于为0040-39990静电吸盘提供精确温度控制的配套冷却系统。
• AMAT High Voltage Power Supply：为0040-39990提供静电吸附所需高压电力的专用电源模块。

安装与维护

安装前准备：安装AMAT 0040-39990静电吸盘前，必须确保设备已完全断电并处于安全状态。由于其属于高精度真空部件，安装过程需在洁净室环境中进行，并严格遵循AMAT官方提供的安装手册。操作人员应佩戴合适的洁净室服饰和手套，避免任何污染物接触静电吸盘表面。在安装前，请仔细检查0040-39990组件是否有任何物理损伤或表面污染，确保其完好无损。

维护建议：对AMAT 0040-39990的维护主要集中在定期的清洁和功能检查。在更换晶圆或进行腔体清洁时，应确保静电吸盘表面没有残留物或微粒。任何划痕或损伤都可能影响其吸附性能和晶圆温度均匀性。由于其高压和真空环境的特性，所有维护工作都必须由经过专业培训的技术人员进行。定期检查与0040-39990相连的高压电缆和冷却管路，确保其连接牢固且无泄漏。

产品保障

Applied Materials作为全球领先的半导体设备制造商，对AMAT 0040-39990提供严格的质量保证。该产品遵循最高标准的制造工艺，并经过严苛的性能测试，以确保其在半导体生产环境中的高可靠性和长寿命。我们提供全面的售后服务和技术支持，包括专业的安装指导、故障排除和备件更换。选择0040-39990，意味着您选择了Applied Materials的专业技术和对产品质量的坚定承诺，为您的半导体制造流程提供了坚实的保障。

 

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