简要说明
ASYST ATR9100是一款来自ASYST Technologies公司的半导体晶圆传输控制器模块。该模块是其自动化物料搬运系统（AMHS）中的核心部件，专为实现半导体工厂内晶圆盒（FOUP）的精确、高速、安全传输而设计。
应用场景
在高度洁净和自动化的半导体晶圆制造工厂内，晶圆的无尘、高效搬运是保障良品率和生产效率的关键。一个典型的应用场景是，在光刻、刻蚀、薄膜沉积等多个工艺站之间，需要将装有珍贵晶圆的密闭盒（FOUP）从一个工位安全地传输到下一个。传统的传送系统可能存在定位不精确、速度不均或在紧急情况下无法及时停止等问题，这些都可能导致晶圆污染或损坏，造成巨额损失。ASYST ATR9100正是在此背景下发挥关键作用。它被集成到轨道式或悬挂式物料搬运系统（OHT/OHS）中，精确控制传输车辆的行进、停止和定位。当传输任务下达时，ASYST ATR9100能够通过其智能算法，规划最优路径、实现平稳加速和减速，确保FOUP在传输过程中不受任何震动影响，从而最大程度地保障晶圆的完整性和生产环境的洁净度。
核心参数速览
技术原理与创新价值
ASYST ATR9100的核心技术在于其对高精度运动控制和半导体行业特定协议的完美融合。
创新点1：精确的路径规划与平滑运动控制。不同于通用型运动控制器，ATR9100内置了针对半导体物料搬运的独特算法。它可以预先计算最优的加减速曲线，确保传输车辆在移动和停靠时平稳无冲击。这种“软着陆”技术对于防止晶圆在FOUP内因惯性滑动而受损至关重要。
创新点2：深度集成的SECS/GEM协议支持。ATR9100不仅是一个运动控制器，更是一个智能的协议转换器。它能够直接解析并执行上层工厂自动化系统（MES）发送的SECS/GEM指令，如“搬运FOUP从工位A到工位B”。这种原生协议支持大大简化了系统集成难度，实现了真正的“即插即用”，提升了整个自动化系统的部署效率。
创新点3：高可靠性与冗余设计。在半导体制造的24/7不间断运行环境下，任何停机都意味着巨大的生产损失。ATR9100采用了高可靠性元器件，并支持热备份或冗余配置。一旦主模块发生故障，备用模块可在毫秒级时间内接管控制，确保传输任务不中断，保障了生产线的连续性。
应用案例与行业价值
应用案例与行业价值ASYST ATR9100在某大型晶圆制造厂的12寸晶圆生产线上得到了成功应用。该工厂面临着日益增长的生产压力和复杂的物料流转挑战。通过在其轨道式物料搬运系统中全面部署ASYST ATR9100，工厂实现了传输效率的显著提升。系统的平均传输时间缩短了15%，传输路径的拥堵情况得到了有效缓解。此外，由于ATR9100精确的运动控制，因传输过程中的微小震动导致的晶圆微裂纹或污染的发生率几乎降至零，直接提升了成品良率。工厂工程师表示，该模块的稳定性和易用性远超预期，显著降低了运维难度，为工厂的产能扩展提供了坚实保障。
相关产品组合方案
为构建一套完整的自动化解决方案，ASYST ATR9100通常与以下产品组合使用：
- ASYST P/N 9700-9960-02：同系列的I/O扩展模块，用于增加外部传感器和执行器的连接点，例如到位开关、安全光栅等，以实现更复杂的控制逻辑。
- ASYST 9700-9970-01：运动驱动器模块，与ATR9100配合，提供精确的电机驱动电源和控制信号，驱动传输车辆的运动。
- ASYST 9700-9950-01：背板通信模块，用于ATR9100与主控制器之间的高速通信，确保数据无延迟传输。
- ASYST TCC9100：终端控制器，作为上位机，为操作员提供图形化界面，进行任务下达、状态监控和故障诊断。
- ASYST AMHS_Software：配套的软件系统，用于路径规划、任务调度和整个物料搬运系统的优化管理。
安装维护与全周期支持
ASYST ATR9100的设计充分考虑了半导体工厂对高可靠性和易维护性的严苛要求。其模块化结构使得安装极为简便，可快速集成到现有控制柜中。在维护方面，该模块的自诊断功能可实时报告自身状态，并通过LED指示灯或通信接口提供详细的故障代码，极大地方便了技术人员的现场排查。我们提供从前期方案设计、现场安装、编程调试到全生命周期备件供应和远程技术支持的一站式服务。通过远程诊断工具，我们的技术团队可以迅速定位并解决潜在问题，最大程度地减少因设备故障导致的停产时间，确保您的生产线持续、高效地运行。
Omron PLC Analog Input Module CPM1A-AD041 (CPM1AAD041)
Siemens/ CTI2550/ CTI-2550 Analog Input
AB Allen Bradley 1771 IFC01 analog input Reconditioned
Waves PRS Guitar Interface Paul Reed Smith Analog Input
RIM-121 Square D 8030 Sy/Max PLC Analog Input Module
Analogic DBS8701-B10 Analog Input Digitizer 8-Channel
Analogic DBS8701-B10 Analog Input Digitizer 8-Channel
CTI 2555-A 16 Channel Diferential Analog Input Module
Allen Bradley 1771-IFC/1771IF?C Series B Analog Input
SIEMENS S7 ANALOG INPUT MODULE 6ES71441GB310XB?0 EXPAN
SIEMENS SIMATIC 505-6108A ANALOG INPUT MODULE 5056108A
Allen Bradley 1756-IF8
