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产品型号：5517D-C19
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制造商：KEYSIGHT
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系统平台：Keysight 5530 / 5529A 激光校准系统
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激光类型：双频氦氖激光器 (HeNe)
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激光波长：632.991 nm (真空，典型值)
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频率稳定性：$\pm 0.1$ ppm (或更高，取决于配置)
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频率分离：约 1.8 MHz 至 2.5 MHz (取决于具体 $C$ 配置)
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输出功率：1.0 mW (典型值，保证最低输出)
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光束直径：约 6 mm
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接口类型：专用光纤/电缆连接器 (用于连接测量板卡)
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预热时间：约 20 分钟 (达到标称频率稳定度)
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工作温度：15°C 至 35°C (需配合环境补偿)
功能定位与应用场景分析
Keysight 5517D-C19 激光头是精密测量系统中的核心频率源。它提供了一束具有极高频率稳定度和波长精确度的双频激光。与普通激光器不同，5517D 内部通过磁致圆偏振技术，将氦氖激光器的单色光分解成两个具有微小频率差（通常在 MHz 级别）的偏振正交光束。
在测量中，一束光作为参考频率，另一束光作为测量频率。当测量光束通过干涉仪光学组件反射并受到被测物体的运动（位移）影响时，其频率会因多普勒效应发生微小变化。系统通过精确测量这个频率差的变化，结合环境补偿数据，能够以纳米级分辨率确定位移。其C19配置通常代表了特定等级的频率分离度或输出稳定性，适用于要求高动态性能和快速采样的应用。
这种设计特点决定了 5517D-C19 在高精度工业控制和计量领域的不可替代性。
典型应用场景：
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用于 半导体制造设备（如光刻机、晶圆检测设备）的纳米级平台定位和运动精度校准。
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用作 高精度数控机床 (CNC)、坐标测量机 (CMM) 的直线轴、角度和旋转轴的动态精度校准。
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应用于 航空航天和科研领域 的高精度光学平台、振动分析和应变测量。
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支持 计量院/第三方校准实验室 的高标准工业测量和溯源。
我们的质量标准与测试流程
我们深知 5517D-C19 作为计量级设备的“心脏”，其频率稳定性和波长精确度是所有测量结果的根本保证。任何微小的频率漂移都会直接转化为测量误差。为此，我们建立了针对激光干涉仪核心组件的严格检测和校准体系（SOP），确保交付给客户的每一台激光头都能在严苛的工业和实验室环境下提供可溯源的精度。
我们的测试流程不仅是功能性的，更是计量级的。我们通过与国家标准溯源的参考激光器进行比对，确认激光头的频率输出和稳定性。这对于要求极高精度的客户至关重要。
标准化测试流程 (SOP)：
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外观检测与清洁： 检查激光头外壳、光学窗口有无损伤、污染或密封失效痕迹。
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频率稳定性测试 (Frequency Stability)： 模块连续运行 $\ge 48$ 小时，使用高精度频率计/波长计监测其频率漂移和Allan方差，确保在标称预热时间后达到 Keysight 规定的 $\pm 0.1$ ppm 稳定性。
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双频分离度验证： 确认两个输出频率（$f_1$ 和 $f_2$）之间的频率差（$f_1-f_2$）在 C19 配置的规定范围内，并记录具体值。
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输出功率与光束质量： 使用功率计测量激光输出功率，确保达到或超过最低标称值；检查光束的几何形状、直径和发散度，确保满足光学路径耦合要求。
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环境适应性测试： 在模拟环境温度变化下（$15^{\circ}C$ 至 $35^{\circ}C$）监测其频率变化率，确保补偿数据可信。
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最终校准报告： 随货提供详细的性能测试数据和校准报告，可溯源至国际计量标准。
兼容性与安装维护（技术支持）
安装或替换 5517D-C19 激光头时，最容易出现的“陷阱”是环境因素和光学对准。激光干涉仪系统对环境参数（温度、压力、湿度）极其敏感，这些因素会直接影响激光波长在空气中的实际值，进而影响测量精度。另外，激光头是整个系统光学链的起点，其输出光束必须精确对准后续的干涉仪、分光镜和反射镜。
工程师在现场替换时，必须严格遵循安全规范，避免操作不当导致内部光学组件或激光管受损。
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