产品核心摘要
- 型号： ZMI-4104C (ZMI 4104C)
- 品牌： ZYGO（捷高 / 现属于 AMETEK 阿美特克集团）
- 系统架构： VMEbus 架构（6U VME 测量与处理板卡）
- 核心功能： 双频激光干涉仪系统中的多轴高精度相位解码、位移计算及高速数据反馈
- 产品类型： 4 通道激光干涉测量板卡（4-Channel Measurement Board）
- 关键规格： 皮米级（Sub-nanometer / Picometer）分辨率 / 高达 20 MHz 测量带宽 / 支持光纤光学信号输入 / 全新原装及优质二手备件均有
产品深度介绍
在半导体光刻机（Lithography Stepper/Scanner）、掩模版检查设备、超精密数控机床及晶圆检测平台中，对运动台（Stage）的定位精度要求达到了亚纳米乃至皮米级别。ZYGO ZMI 4104C 是一款专门为此类极高精度场景设计的 4 通道 VME 激光干涉测量板卡。
该板卡作为 ZYGO ZMI 4000/2000 激光测量系统的处理核心，前面板配置有 4 路光纤接收接口，可直接接收来自干涉仪接收器（Receiver）的光频信号。内置的高速数字信号处理器（DSP）和专用干涉相位处理芯片，能够对双频激光的多路多普勒频移信号进行实时解调，将光学相位变化转化为精确的 X、Y、θ（角度）位移数据，并通过 VME 总线或 VME64x 背板以极低延时反馈给上位机控制系统。
常见问题解答
- 问：ZMI 4104C 与 ZMI 4102C 或 ZMI 2004 可以直接互换吗？
- 答： 不能直接简单替换。ZMI 4104C 是 4 通道卡，而 4102C 是 2 通道卡；不同代际（2000 系列与 4000 系列）在相位解调频率、DSP 计算速度及 VME 寄存器映射上存在差异，更换跨代型号需要重新更新上位机驱动与配置文件。
- 问：板卡损坏后是否支持单通道修复或光电模块更换？
- 答： ZMI 4104C 是极高精度的光电一体化板卡，其内部光电转换与高速解调电路经过工厂级精密相位校准。常规现场维修难度极高，建议直接更换经完整测试的板卡备件。
- 问：你们提供的备件是否经过真实光路测试？
- 答： 是的。所有出库的 ZMI 4104C 均在由标准 ZYGO 激光器、光纤接收器及运动台搭建的光学干涉测试平台上进行过 4 通道全闭环测量测试，确保增益、相位精度及 VME 通信完全达标。
- 问：如何确保发货过程中的光纤接口安全？
- 答： 发货前每个光纤接口都会配备专用的螺纹防尘罩，板卡整体包裹在厚层工业防静电屏蔽袋与定制防震海绵木箱中，防止运输途中的尘埃侵入与机械冲击。
