MDX-L12 AE

产品核心摘要

型号 (Model)：MDX-L12 / MDX-L12M（含 -650 高阻抗变体）
品牌 (Brand)：AE（Advanced Energy / 优仪）
系列 (Series)：MDX-L 系列直流电源
核心功能 (Core Function)：为磁控溅射、PECVD 等真空镀膜工艺提供精密直流驱动
产品类型 (Type)：大功率直流电源（DC Power Supply）
关键规格 (Key Specs)：输出功率 12 KW；AC 输入三相 208V / 41A / 50-60Hz；内置 VARC 灭弧电路
散热方式：风冷
设备重量：约 25 kg（55 lbs）
通讯接口：SLAVE 1/2、USER PORT、CUSTOM USER PORT
保护功能：过压、过流、过热多重内部保护
⚠️ MDX 系列属于较早期产品线，后续已被 Pinnacle / Diamond 系列迭代，库存以实际询货为准

产品深度介绍

做真空镀膜的工程师大概都碰到过这个情况——靶材起弧，膜层出现针孔缺陷，整批片子报废。AE MDX-L12 系列就是冲着这个问题来的。它是 Advanced Energy 出品的 12KW 大功率直流电源，专门给磁控溅射（Magnetron Sputtering）和 PECVD 设备做驱动。内置的 VARC 灭弧电路能在检测到弧光放电的瞬间关闭输出，防止能量灌入靶材热点，减少靶材损耗和材料浪费。

该电源配备内置阻抗匹配变压器，提供高阻抗（High-Z）和标准阻抗两种配置。选对变压器，可适配最高 525V 或 650V 电压的负载阻抗——这也是型号后缀 “-650” 的由来。讲真，在半导体晶圆和光学镀膜这类对膜层均匀性要求极高的场景下，低输出纹波和精确的电流/电压/功率调节能力，直接决定了良率。该模块支持电压源或电流源两种输出模式，通过面板或通讯接口切换。