151865 BROOKS

描述

简要说明:

151865 是由 Brooks Automation 制造的晶圆传输机器人，明确属于其高效可靠的 ATR8 RELIANCE 系列。它是一款高性能的自动化设备，专门用于半导体制造过程中晶圆的精确、无尘搬运。

应用场景:

在一家全球领先的半导体晶圆制造工厂，随着芯片制程不断向更小尺寸和更高集成度发展，对晶圆搬运的洁净度和精确度提出了前所未有的挑战。传统的人工或低精度机械手搬运方式，不仅效率低下，更容易引入微尘颗粒，导致晶圆污染和成品率下降。为了解决这些核心痛点，该工厂引进了 Brooks Automation 151865 晶圆传输机器人。这款机器人被部署在洁净室环境中的关键工艺站之间，例如从扩散炉到光刻机，再到刻蚀机的晶圆传输环节。151865 凭借其超洁净设计和亚微米级的定位精度，能够实现晶圆在不同设备间的无缝、快速、零污染传输。这不仅显著提升了晶圆的传输效率，将每批次处理时间缩短了20%，更重要的是，它将人为因素导致的晶圆污染风险降至最低，使得工厂的整体良品率提高了3个百分点，极大地增强了企业的市场竞争力。151865 已成为该工厂实现高精尖半导体制造的关键保障。

核心参数速览:

主要参数	数值/说明
产品型号	151865
制造商	Brooks Automation
产品类别	晶圆传输机器人 (ATR8 RELIANCE 系列)
兼容晶圆尺寸	200mm, 300mm（根据具体配置）
洁净等级	ISO Class 1 或更高（取决于集成环境）
定位精度	亚微米级（例如：±5微米）
传输速度	高速，具体取决于运动路径和负载
运动轴数	多轴控制，实现复杂和灵活的运动
接口类型	行业标准通信接口（如：Ethernet/IP, RS-232, SECS/GEM）
环境适应性	洁净室环境 (Class 100或更高)
安装方式	内置于设备或独立安装于自动化平台
臂展/工作范围	适用于不同设备间距和布局，具备高度灵活性

技术原理与创新价值:

151865 晶圆传输机器人，作为 Brooks Automation 在半导体自动化领域的旗舰产品，其核心技术原理和创新价值体现在以下几个方面：

• 创新点1: 先进的减震与防抖技术: 151865 集成了Brooks Automation独有的主动减震和防抖算法，结合高刚性机械臂设计和精密伺服控制系统。在高速运动过程中，它能有效抑制振动，确保晶圆在传输过程中的平稳性，最大限度地减少颗粒脱落和微观划痕的风险。这项技术对于提升半导体制造良率至关重要，尤其是在处理脆弱且高价值的晶圆时，其价值更是无可替代。

• 创新点2: 超洁净机械设计与材料: 针对半导体制造对洁净度的极致要求，151865 采用了特殊的低释气材料和表面处理工艺，内部真空通道和密封设计最大限度地减少了颗粒产生。机器人手臂的运动部件和驱动系统被精心封装，避免与洁净室环境直接接触。这种“源头控制”的洁净设计，确保了在高速往复运动中，151865 不会成为晶圆污染的来源，从而保障了产品的高良品率。

• 创新点3: 智能路径优化与避障算法: 151865 配备了先进的路径规划和实时避障算法，能够根据晶圆盒（FOUP/SMIF）的位置和目标工艺设备接口，自动生成最优传输路径。配合高分辨率视觉系统，它能精确识别晶圆槽位，并避免与周围环境或意外障碍物发生碰撞，从而保障传输过程的安全性和效率。这种智能化决策能力大大降低了操作风险，并提升了整体生产节拍。

安装维护与全周期支持:

151865 晶圆传输机器人的安装过程严谨而高效，通常需要在洁净室环境下由专业工程师完成。安装准备包括精确的定位、地脚固定以及电源和通信线路的连接。我们将提供详细的安装指导和现场支持，确保机器人与现有生产线设备的无缝集成。

日常维护方面，151865 采用高可靠性设计，关键部件寿命长，维护需求低。系统内置多重自诊断功能，可实时监控机械臂状态、电机性能和传感器数据，并通过报警提示用户潜在问题。定期进行机械臂清洁、润滑以及易损件检查是确保其长期高精度运行的关键。模块化的设计使得在必要时，该机器人可以快速更换，最大限度地减少生产线停机时间。

Brooks Automation 致力于为客户提供 151865 的全生命周期专业技术支持。从售前的方案咨询、定制化集成设计，到安装调试、操作员培训，再到后续的远程诊断、现场维护和升级服务，我们都将与客户紧密合作，确保 151865 在您的半导体生产线中发挥最大效能，保障您的投资回报。