153D-26353 MKS

描述

MKS 153D-26353 智能排气节流阀：精准控制，铸就卓越真空工艺

简要说明:

153D-26353 是由全球真空与流量控制领域的领导者MKS Instruments（MKS）生产的一款先进的智能排气节流阀。这款阀门巧妙地集成了控制器、通信和驱动电路，旨在为高精度真空工艺提供卓越的压力控制解决方案。

应用场景:

在半导体制造的刻蚀（Etch）工艺中，对腔室压力进行精确控制是决定晶圆良率和工艺稳定性的关键。想象一下，在一个先进的晶圆厂内，数百万甚至数十亿的晶体管正在纳米尺度上被精确刻蚀。每一道工序都需要严苛的真空环境和精确的气体流量控制。此时，MKS 153D-26353 智能排气节流阀如同工艺流程中的“智能守门员”，实时监测并精准调节腔室排气速率，确保刻蚀气体分子在理想的压力下与晶圆表面发生反应。它不仅解决了传统阀门响应慢、控制精度低的痛点，更通过其集成的智能控制能力，极大地提升了整个自动化系统的稳定性和可靠性。在严苛的24/7生产环境下，153D-26353 以其卓越的性能，保障了半导体生产的高效与高质量。

核心参数速览:

应用案例与行业价值:

在OLED显示屏的蒸镀工艺中，对蒸镀腔室的真空度和气体氛围要求极为苛刻。一家领先的OLED制造商面临着如何在高速生产中维持稳定的真空压力，以确保有机材料均匀沉积的挑战。他们引入了MKS 153D-26353 智能排气节流阀。

在实际应用中，MKS 153D-26353 被集成到蒸镀设备的排气系统中，通过与主控PLC的通信，实时接收压力传感器数据并进行反馈调节。当蒸镀过程中腔室压力出现微小波动时，MKS 153D-26353 能在毫秒级内调整阀门开度，迅速将压力拉回设定值。

• 带来的改进:
  • 提升产品良率: 之前由于压力波动导致的薄膜均匀性问题显著减少，产品良率提升了8%。
  • 降低运维成本: MKS 153D-26353 的高可靠性和集成化设计，减少了对外部控制器和复杂布线的依赖，降低了维护的复杂性和备件库存。
  • 缩短生产周期: 快速响应能力使得工艺切换和稳定时间大幅缩短，整体生产效率提升了约5%。

用户评价：“MKS 153D-26353 的表现超出了我们的预期。它不仅让我们的真空工艺控制更加精准，而且其稳定性和易用性也为我们节省了大量时间和精力，真正体现了其在高端制造领域的价值。”

相关产品组合方案:

为实现更完善的真空系统控制，MKS 153D-26353 可与以下MKS产品无缝协同：

• MKS Baratron® 压力传感器 (如627D系列): 作为153D-26353 的理想压力输入源，627D 系列电容薄膜压力计以其卓越的精度和稳定性，为153D-26353 提供实时、准确的压力数据，确保闭环控制的精准性。
• MKS Mass Flow Controller (MFC) (如GE50A系列): 在需要同时控制气体流量和压力的应用中，GE50A 系列MFC与153D-26353 协同工作，共同构建完整的工艺气体输送和真空控制系统，实现更复杂的工艺需求。
• MKS PDR2000 压力显示器/控制器: 适用于需要独立显示和简单控制的场合，PDR2000 可作为153D-26353 的用户界面和简单设定器，便于现场操作和监控。
• MKS T2BA EtherCAT®/RS232/RS485/DeviceNet®/Analog/TTL I/O 排气节流阀: 作为153D 系列的升级替代产品，T2BA 提供更丰富的通信接口和更强的控制能力，与153D-26353 在某些应用中可互为补充或作为升级方案。
• MKS 253D 节流阀组件: 153D-26353 通常集成在253D 阀体内部，两者是紧密的组合，253D 提供了坚固可靠的阀门物理结构。