153D-3-80-2 018741130 MKS

描述

简要说明:

153D-3-80-2 是由全球真空与流量控制领域的领导者MKS Instruments（MKS）推出的一款高性能智能排气节流阀。这款阀门高度集成了控制器、通信和驱动电路，专为精确控制真空工艺中的压力而设计，是半导体、LED、太阳能电池等高科技产业的关键组件。

应用场景:

在先进材料沉积工艺中，如化学气相沉积（CVD）或物理气相沉积（PVD），腔室内的压力控制至关重要。哪怕是微小的压力波动，都可能导致薄膜厚度不均、晶体结构缺陷，甚至影响产品最终性能。例如，在薄膜太阳能电池的生产线上，需要将各种活性气体精确地引入反应腔并控制其停留时间，以确保光伏层的均匀生长。传统的气动阀门或简单电动阀门，往往难以满足这种严苛的动态压力控制需求。此时，MKS 153D-3-80-2 智能排气节流阀展现其卓越价值。它能够实时感知腔室压力变化，并以极高的响应速度和精度调节排气流量，使腔室压力始终维持在工艺窗口内。通过引入153D-3-80-2，制造商成功解决了传统阀门响应迟缓、控制精度不足的痛点，显著提升了薄膜均匀性、提高了生产良率，并有效降低了工艺废品率。

核心参数速览:

主要参数	数值/说明
产品型号	153D-3-80-2
制造商	MKS Instruments
产品类别	智能排气节流阀
公称内径	3.00英寸 (76毫米)
法兰尺寸	NW80
法兰类型	ISO-MF (ISO-Metric Flange)
阀门驱动方式	机械驱动 (非皮带)，带积分余弦发生器线性化阀门传输特性
阀门速度	标准: 7.5秒 (可选: <2秒，用于快速响应)
分辨率	标准: 1/10,000 (快速电机选项: 1/2800)
外部泄漏率	1×10−8 scc/sec He (超低泄漏，确保真空完整性)
关闭泄漏	<10−7 (Torr l/s) (优异的密封性能)
阀门电机环境工作温度	$0 – 70^{\circ}$C (宽泛的环境适应性)
阀体最大工作温度	$0 – 90^{\circ}$C (可耐受高温工况)

技术原理与创新价值:

MKS 153D-3-80-2 之所以能在精密真空控制领域脱颖而出，得益于其核心技术原理和多项创新：

创新点1: 高度集成化设计，简化系统架构： 153D-3-80-2 采用突破性的集成设计，将传统的压力控制器、通信接口和阀门驱动电路全部整合在一个紧凑的电子模块中，并直接内置于253节流阀组件内。这一创新彻底消除了对独立控制器和复杂外部布线的需求，显著简化了系统设计、安装和调试过程。它不仅节省了宝贵的设备空间，降低了系统构建成本，更通过内部优化通信，提升了整体系统的响应速度和抗干扰能力，为用户带来了前所未有的便捷性和可靠性。

创新点2: 精密机械驱动与先进线性化技术： 该阀门摒弃了传统皮带驱动，转而采用坚固可靠的机械驱动方式，并巧妙地融合了积分余弦发生器来线性化阀门的传输特性。这意味着阀门的开度与实际的流量调节之间呈现出高度线性的关系，从而在整个压力控制范围内提供无与伦比的精度和重复性。这种对机械精度的极致追求与智能算法的完美结合，确保了153D-3-80-2 即使面对微小的压力偏差，也能做出精确且平滑的调整，是实现亚纳米级或亚毫秒级工艺控制的基石。

创新点3: 多模式操作与卓越环境适应性： 153D-3-80-2 支持“挡板位置控制”和“压力控制”两种灵活的操作模式，用户可根据具体工艺需求进行快速切换。此外，它具备出色的环境适应能力，能在$0 – 70^{\circ}$C的电机环境温度和$0 – 90^{\circ}$C的阀体工作温度下稳定运行。其高达1×10−8 scc/sec He的极低外部泄漏率和<10−7 (Torr l/s)的关闭泄漏性能，确保了即使在高度敏感的真空环境中，也能最大程度地减少外部污染和气体泄漏，保障工艺的纯净性和生产的安全性。

安装维护与全周期支持:

MKS 153D-3-80-2 智能排气节流阀的设计理念贯穿了安装便捷性、运行稳定性及维护高效性。得益于其高度集成的结构和标准的NW80 ISO-MF法兰接口，153D-3-80-2 能够轻松快速地集成到各种现有或新建的真空系统中，显著缩短了设备安装和调试周期。在安装前，建议仔细检查法兰密封面，并确保连接管道的清洁度，以保证最佳的真空密封性能。

在日常操作中，MKS 153D-3-80-2 凭借其坚固耐用的工业级设计，能够在严苛的工业环境中长时间稳定运行。其内置的自诊断功能可为用户提供实时的运行状态反馈，简化了故障排查过程。常规维护主要包括定期检查阀门密封件的磨损情况，并在必要时进行更换，以保持卓越的密封性能。由于153D-3-80-2 的集成化特性，其电子部件的故障风险极低；若需检修，模块化设计也使得关键组件的替换更为直接，有效降低了非计划停机时间。

我们深知您对设备可靠性和生产效率的重视。因此，我们为MKS 153D-3-80-2 提供全面的全生命周期技术支持与服务。从前期的技术咨询、方案规划，到现场的安装指导、系统集成协助，再到专业的操作培训、预防性维护建议，以及迅速的备件供应和故障排除服务，我们经验丰富的技术团队随时待命，确保您的自动化系统始终保持最佳性能，助您在激烈的市场竞争中保持领先。