4022.436.43082 ASML

描述

简要说明:

4022.436.43082 是 ASML 公司生产的一款 短行程电源单元 (Short Stroke Power Supply)。这款电源通常提供 48V 和 10A 的输出，是ASML半导体光刻设备中的一个关键组件，负责为设备内部的特定高精度执行器或子系统提供稳定、精确的电源。在光刻机这种对精度和稳定性要求极高的设备中，电源单元的性能直接影响着整机的运行精度和效率。

应用场景:

在半导体制造的极紫外（EUV）光刻机中，需要超高精度的运动控制系统来定位晶圆和掩模版，以实现纳米级别的图形曝光。这些运动系统中的短行程（Short Stroke）平台，负责进行微米甚至纳米级的快速、精细调整，以补偿振动、热膨胀或实现精确扫描。

例如，在ASML的TWINSCAN或NXE系列光刻机中，晶圆台或掩模版台可能包含短行程驱动器，这些驱动器需要极其稳定且响应迅速的电源。当一台EUV光刻机在生产过程中出现曝光图案微小偏差时，经过诊断发现是负责短行程平台电源的稳定性出现了问题。更换了全新的 ASML 4022.436.43082 短行程电源单元后，该电源能够提供超低纹波、高动态响应的48V/10A电源，确保了短行程驱动器的精确供电，从而使晶圆和掩模版的定位精度恢复到纳米级，显著提高了芯片的良品率和生产效率。这个案例充分说明了 4022.436.43082 在ASML光刻机中，对保障极高精度运动控制和最终芯片制造质量的不可替代的关键价值。

核心参数速览:

技术原理与创新价值:

4022.436.43082 作为ASML光刻机中的精密电源，其核心技术原理与创新价值体现在：

• 创新点1：超低噪声与高稳定性电源输出：在纳米级的光刻过程中，任何微小的电磁干扰或电压波动都可能导致曝光偏差。4022.436.43082 设计用于提供极致纯净、纹波极低的48V/10A直流电源。它可能采用了先进的电源滤波技术、高频开关电源拓扑和精密的稳压控制回路，以确保输出电压在各种负载变化下都能保持高度稳定，从而为短行程执行器提供无干扰的能量，保障其运动的平滑性和精度。
• 创新点2：高动态响应能力：短行程驱动器通常需要进行快速、频繁的微调，这意味着电源必须能够迅速响应负载电流的变化，而不会出现电压跌落或过冲。这款电源单元被设计成具有极高的动态响应能力，能够在微秒级内适应电流需求的变化。这种快速响应能力对于光刻机中实时、高带宽的反馈控制系统至关重要，确保了在高速扫描和精确校准过程中能量供应的即时性和稳定性。
• 创新点3：紧凑集成与高可靠性：考虑到光刻机内部空间的高度集成和对可靠性的苛刻要求，4022.436.43082 通常采用紧凑的模块化设计，易于集成到复杂的子系统中。同时，它采用高质量的工业级元器件和严格的制造工艺，确保在24/7连续运行的严苛半导体生产环境中保持极高的可靠性和长寿命，降低了因电源故障导致的停机风险。

相关产品组合方案:

4022.436.43082 短行程电源单元是ASML光刻机内部的专用组件，通常与以下系统或部件配合使用：

• ASML 光刻机系统: 作为核心电源组件，集成在ASML TWINSCAN, EXE, NXT等系列光刻机中。
• 短行程运动平台/执行器: 直接为其供电，例如晶圆台或掩模版台的微动驱动系统。
• ASML 主控制器/运动控制器: 电源单元的运行和启用通常由光刻机的主控制器或专用的运动控制器进行管理和监测。
• ASML 诊断和维护软件: 用于监控电源单元的状态、输出参数以及进行故障诊断。