4022.471.74111 ASML

描述

简要说明:

4022.471.74111 是 ASML 公司生产的一款 PAAC 200/10 电源供应/功放 PCB 板 (Power Amplifier and AC Controller PCB Board)。作为ASML光刻设备中的一个关键电子组件，这块PCB板集成了电源供应或功率放大功能，负责为设备内部的特定高精度执行器、传感器或控制系统提供稳定、受控的电力或驱动信号。它对保障ASML光刻机中核心功能单元的正常运行至关重要。

应用场景:

在半导体晶圆厂的洁净室里，ASML光刻机正在进行复杂的芯片制造流程。这些机器内部包含众多对电源质量和驱动性能要求极高的精密子系统，比如用于晶圆或掩模版台的微动平台、高分辨率的光学传感器以及其他伺服驱动组件。任何电源的不稳定或驱动信号的失真都可能导致曝光错误或生产中断。

例如，如果ASML光刻机中的某个精密测量装置（如干涉仪）出现读数不稳，或者某个微调执行器无法达到指令位置，经过系统诊断后，很可能是其电源或驱动模块出现了问题。更换了全新的 ASML 4022.471.74111 PAAC 200/10 PCB 板后，该板能为对应的精密子系统提供高稳定、低噪声的200V/10A电源或精确的驱动信号。这确保了测量装置的准确性或执行器的响应速度，从而保障了光刻机在纳米级操作中的精度和稳定性，最终提升了芯片的良品率和设备的利用率。这个案例充分说明了 4022.471.74111 在ASML光刻机中，对保障极高精度操作和最终芯片制造质量的不可替代的关键价值。

核心参数速览:

相关产品组合方案:

4022.471.74111 PAAC 200/10 PCB 板是ASML光刻机内部的高度专业化组件，通常与以下系统或部件配合使用：

• ASML 光刻机系统: 作为核心电源或功放组件，集成在ASML TWINSCAN 等系列光刻机中。
• 精密执行器: 例如压电驱动器、音圈电机或其他需要高精度电源或驱动信号的组件。
• 高精度传感器: 为某些需要稳定、低噪声电源的传感器系统提供供电。
• ASML 主控制器/电源管理单元: 可能与光刻机的主控制器或更高级别的电源管理单元通信，接收控制指令并反馈电源/功放状态。
• 光刻机背板/机架: 电源板通常插入光刻机内部的专用背板或机架插槽。

安装维护与全周期支持:

由于 ASML 4022.471.74111 是光刻机内部的高度专业化和精密部件，其安装、维护和故障排除必须由经过ASML认证的专业工程师进行。不正确的操作可能导致设备损坏或危及操作人员安全。

• 安装: 需严格遵循ASML提供的详细安装手册，确保在断电状态下正确插入到相应的插槽，并固定牢固，连接好电源和信号线。
• 维护: 通常涉及到定期检查电源输出的稳定性、板载元器件的物理状况（如电容鼓包、烧毁痕迹）以及散热情况。任何故障都需要专业的诊断设备和ASML的专用工具。
• 故障排除: 遇到相关问题时，应参考ASML的系统诊断指南，并联系ASML的技术支持团队。由于这些部件的专业性和高价值，通常不建议用户自行维修。

很遗憾，ASML的这些专用部件信息不对公众开放，因此更详细的技术规格、替代型号或详细的维护步骤无法提供。如果您是ASML的客户或服务工程师，建议直接查阅ASML的官方技术文档或联系其客户支持。