979B-01-0013 MKS

描述

详细参数表

产品简介

MKS 979B-01-0013 是一款先进的 Atmosphere-to-Vacuum (ATV) 真空传感器，由真空技术领域的全球领导者MKS Instruments公司精心打造。该产品凭借其创新的双传感器集成技术，在一个紧凑的单元中结合了微型 Pirani™ (MEMS) 和小型热阴极传感器，实现了从大气压到超高真空 (UHV) 的宽广测量范围，解决了传统上需要多台真空规才能完成的任务。这不仅显著简化了系统设计，减少了安装和接线复杂度，也为用户提供了无缝且准确的压力测量体验。MKS 979B-01-0013 的设计理念是将高精度、高可靠性和易用性融为一体，使其成为需要跨越多个真空区域进行精确测量的理想选择。

979B-01-0013 凭借其智能控制功能，可以在不同的压力区间自动切换并结合两种传感器的读数，以提供一个平滑且连续的模拟或数字输出信号。微型 Pirani™ 传感器负责从大气压到中高真空的测量，并能智能地控制热阴极灯丝的开启，从而延长灯丝寿命。这种协同工作模式确保了在整个测量范围内都能获得可靠和稳定的数据。MKS 979B-01-0013 完美地体现了现代真空技术的集成化与智能化趋势，是半导体、薄膜沉积和科研领域高端真空系统的核心组件。

核心优势与技术亮点

MKS 979B-01-0013 在众多真空传感器中脱颖而出，其核心优势在于独特的双传感器融合技术和卓越的性能表现。它不仅仅是一个简单的测量设备，更是一个智能化的真空过程控制平台。

宽量程无缝测量：传统真空系统常需使用多个传感器来覆盖从大气压到超高真空的全过程。MKS 979B-01-0013 巧妙地将高精度的微型 Pirani™ 传感器和可靠的热阴极传感器集成在一起，实现了从1500 Torr到1 x 10−10 Torr的单一、连续测量。这种设计消除了不同传感器之间的切换盲区，并提供了统一的模拟和数字输出，极大地简化了系统集成。

智能控制与长效可靠：979B-01-0013 内置的智能微处理器能够自动识别当前压力，并仅在需要时激活热阴极灯丝。微型 Pirani™ 传感器会在较低压力下精确控制热阴极的开启点，这不仅保护了敏感的灯丝，还显著延长了其使用寿命，降低了维护成本和停机风险。该产品还配备了两根钇涂层灯丝，进一步增强了冗余性和可靠性。

高兼容性和易用性：除了提供标准的0.5 VDC/十进位模拟输出外，979B-01-0013 还支持RS232或RS485数字通信。这种多样的接口选择使得它能够轻松地集成到各种现有的或新建的真空控制系统中。无论是作为独立单元，还是与MKS的PDR900显示器和控制器配合使用，其操作都极为简便。该产品还具有任意方向安装的能力，为工程师提供了极大的设计灵活性。

出色的性能表现：979B-01-0013 的专利除气（Degas）功能通过电子轰击来清洁传感器，确保了长期测量的稳定性和准确性。其坚固的结构和暴露于真空中的304不锈钢材料，保证了在苛刻的工业环境中也能稳定运行。

典型应用场景

MKS 979B-01-0013 的宽量程和高可靠性使其成为多种精密真空应用领域的首选。

在半导体制造行业，例如刻蚀、沉积和离子注入等工艺中，979B-01-0013 能够提供从工艺腔室抽空到精确工艺压力的连续监测。它的快速响应和高精度对于确保每个制造环节的重复性和质量至关重要。其单传感器设计能够取代多个分立的真空规，从而简化设备设计，减少了对昂贵空间的需求。

在薄膜镀膜领域，无论是物理气相沉积（PVD）、化学气相沉积（CVD）还是原子层沉积（ALD），979B-01-0013 都能提供从装载室抽空到高真空度下镀膜的精确压力反馈。这对于控制薄膜的厚度、均匀性和质量至关重要。

此外，979B-01-0013 在大型科研设施和分析仪器中也大放异彩。在高能物理实验中，它被用于同步辐射加速器或质谱仪等复杂真空系统的压力监控。在质谱分析仪中，它可以为从大气采样到高真空分离的整个过程提供准确的压力数据，确保了分析结果的可靠性。总而言之，979B-01-0013 的多功能性使其成为任何需要从大气压到超高真空进行可靠测量的应用的理想解决方案。

相关型号推荐

• 910 DualTrans™：MKS旗下的另一款真空传感器，集成了MicroPirani™和Piezo传感器，测量范围为1.0 x 10−5 Torr至1500 Torr，适用于负载锁或过程控制。
• 972B DualMag™：结合了冷阴极和MicroPirani™技术，测量范围为1 x 10−8 Torr至大气压，是979B-01-0013 的同系列产品，但传感器组合不同。
• 974B QuadMag™：集成了冷阴极、MicroPirani™和压电传感器，提供了更广泛的测量能力，是高端真空系统应用的更复杂替代方案。
• PDR900：MKS的真空规显示器和控制器，可以作为979B-01-0013 的配套设备，提供本地显示、设定点控制和通信接口。
• 880B：另一款MKS电容式真空计，提供高精度的压力测量，可以作为979B-01-0013 在某些特定高真空应用中的替代品。

服务与保障承诺

我们深知MKS 979B-01-0013 在您的关键真空工艺中扮演的重要角色。我们承诺所有出售的MKS产品均为原厂正品，并享受MKS Instruments全球统一的质量保障和售后服务政策。从产品咨询、选型到安装调试，我们的专业技术团队都将为您提供全程支持。无论是常规故障排查还是备件更换，我们都将以最快的响应速度和专业的服务为您解决。选择979B-01-0013，您不仅购买了一款高品质、高性能的真空传感器，更获得了我们对您生产和科研过程稳定运行的坚定承诺。我们致力于成为您值得信赖的合作伙伴。

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