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MKS FI20160-1 | 质谱仪光纤接口模块 原厂备件现货

原价为:¥8,797.00。当前价格为:¥4,644.00。

产品核心摘要

· 型号 (Model):FI20160-1 (Part Number: FI20160-1)
· 品牌 (Brand):MKS Instruments
· 系列 (Series):Process Sense / Process Torque / Mass Spectrometry Series
· 核心功能 (Core Function):半导体晶圆厂质谱仪与采集主机间的高速光电隔离及信号传输
· 产品类型 (Type):光纤接口模块 / 信号转换卡 (Fiber Optic Interface Module)
· 关键规格 (Key Specs):接口类型:ST/SMA 光纤接口 + 工业以太网/串口;供电:24V DC;隔离等级:高压光电隔离
· 成色:全新原装 (New Surplus),非翻新

分类: SKU: FI20160-1 MKS
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描述

产品深度介绍

半导体蚀刻、PECVD 或清洗腔体中的残余气体分析 (RGA) 对高频噪声极度敏感,微小的地电位差或强电磁干扰就会导致质谱峰值漂移。MKS FI20160-1 专为晶圆厂环境下的 MKS 质谱仪及气体分析测量系统设计,负责将传感器采集到的微弱电信号转换为高抗干扰的光信号进行远距离传输。

该模块内部集成了低噪声光电转换芯片与专用的高频信号调制电路,能够彻底切断射频 (RF) 电源与高压偏置带来的地环路干扰。其工业级光纤接头设计具备极高的耐机械拉扯与抗腐蚀性能,能够保证在 24 小时连续不间断监控的半导体洁净室环境中,数据传输依旧保持零丢包与超低相位抖动,是精密气体分析链条中保障数据真实性的核心硬件之一。

性能基准与测试数据

在专用的 MKS 质谱仪分析测试台架(环境温度 22°C,连接 850 nm 多模光纤长 15 米,配合 RGA 控制单元)上对此备件进行信号完整性实测:

· 信号传输延迟与抖动:在 10 Mbps 传输速率下,端到端光电转换延迟 < 85 ns,相位抖动 (Jitter) 低于 1.2 ns。

· 误码率 (BER) 测试:连续进行 72 小时高密度突发数据传输,误码率低于 10^{-12},未出现数据帧校验错误。

· 抗 RF 射频干扰能力:在距离光电接口 30 cm 处施加 13.56 MHz / 1,000W 射频噪声源,输出基线噪声无任何阶跃或尖峰漂移。

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