描述
产品深度介绍
半导体蚀刻、PECVD 或清洗腔体中的残余气体分析 (RGA) 对高频噪声极度敏感,微小的地电位差或强电磁干扰就会导致质谱峰值漂移。MKS FI20160-1 专为晶圆厂环境下的 MKS 质谱仪及气体分析测量系统设计,负责将传感器采集到的微弱电信号转换为高抗干扰的光信号进行远距离传输。
该模块内部集成了低噪声光电转换芯片与专用的高频信号调制电路,能够彻底切断射频 (RF) 电源与高压偏置带来的地环路干扰。其工业级光纤接头设计具备极高的耐机械拉扯与抗腐蚀性能,能够保证在 24 小时连续不间断监控的半导体洁净室环境中,数据传输依旧保持零丢包与超低相位抖动,是精密气体分析链条中保障数据真实性的核心硬件之一。
性能基准与测试数据
在专用的 MKS 质谱仪分析测试台架(环境温度 22°C,连接 850 nm 多模光纤长 15 米,配合 RGA 控制单元)上对此备件进行信号完整性实测:
· 信号传输延迟与抖动:在 10 Mbps 传输速率下,端到端光电转换延迟 < 85 ns,相位抖动 (Jitter) 低于 1.2 ns。
· 误码率 (BER) 测试:连续进行 72 小时高密度突发数据传输,误码率低于 10^{-12},未出现数据帧校验错误。
· 抗 RF 射频干扰能力:在距离光电接口 30 cm 处施加 13.56 MHz / 1,000W 射频噪声源,输出基线噪声无任何阶跃或尖峰漂移。
公司专注钢厂、电厂、水泥、化工、造纸、CNC数控机床等行业,主要供应产品:DCS系统卡件、各类进口机器人备件、伺服控制器、电源模块等。我们有强大的供货物流体系,优势齐全的各可靠品牌备货,诚信至上的经营理念,做大做强的精力、努力打造成为国内较强大多较多元化的自动化产品供应商!
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销售进口DCS 、PLC系统备件模块 、大型同服系统配件品牌: ABB,AB.GE.FOXBORO,本特利,英维思,伍德沃德,西屋,瑞恩,施耐德,西门子,摩托罗拉,安川。力士乐。ACSO,横河等进口品牌。Triconex Siemens Yaskawa ABB GE Ovation AB Foxboro Motorola Schneider XYCOM KUKA销售进口DCS PLC系统备件模块PLC模块,可编程控制器,CPU模块,IO模块,A模块,通讯模块。AB/施耐德/ABB/GE/本特利/西屋/英维思/霍尼韦尔/黑马/福克斯波罗等
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