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ZYGO ZMI2402 | 原厂半导体光刻机/晶圆台激光干涉测量系统备件速发

原价为:¥7,322.00。当前价格为:¥5,441.00。

产品核心摘要

· 型号 (Model):ZMI2402 (属于 ZMI 2000/2400 系列)
· 品牌 (Brand):ZYGO Corporation (美国捷高 / 诺达士子公司)
· 系列 (Series):ZMI (Zygo Measurement Interferometer) 激光干涉测量系统
· 核心功能 (Core Function):用于半导体制造设备与超精密加工机床中,对双轴运动台(如 X-Y 晶圆台、掩模台)进行亚纳米级实时位置与速度测量
· 产品类型 (Type):双通道 VME 总线超高精度激光干涉测量卡 (2-Axis Measurement Board)
· 关键规格 (Key Specs):2 通道光纤信号输入、双频干涉多普勒频率解码、亚纳米级位移分辨率,标准 VME 结构与高动态响应
· 成色:全新原装 (New Surplus),非翻新

分类: SKU: ZMI2402 ZYGO
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  • 联系人:白佳乐
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  • 地址:山西省太原市杏花岭区解放路175号万达中心A座3301

描述

产品深度介绍

在半导体光刻、晶圆检测以及超精密坐标测量(CMM)等极高精度领域,ZYGO ZMI 系列激光干涉测量系统是位置反馈的工业标准。ZYGO ZMI2402 是一款专门用于双轴(2-Axis)精密运动控制的高性能测量板卡。

ZMI2402 板卡采用标准 VME 结构设计,前端配置有光纤接收接口,用于接收来自双频氦氖激光器及干涉光学镜片组传来的光电多普勒信号。板卡内置专用的高速数字信号处理器(DSP)与相位插值解码器,能够同时对两个独立运动轴进行实时位置计算与周期插值。与 ZYGO 7702/7712 等激光头配合使用时,ZMI2402 能够在数米/秒的高速移动下提供低至皮米/亚纳米级的解析度,并通过 VME 总线极低延迟地将位置数据推送至主控系统,确保多轴联动台的超高动态定位精度。

性能基准与测试数据

为了确保测量板卡在纳米级光学测量中具备超低噪声与高重复性,我们在 ZYGO 激光干涉测试平台上对其进行了严格校验:

· 周期插值与相位噪声:在标准异频多普勒信号输入下,板载相位测量噪声 RMS < 0.08 nm,细分非线性误差 < 0.2 nm · 动态跟踪速度上限:配合 20 MHz 异频激光源,测量轴最高允许移动速度 > 2.0 m/s 且无丢失相位/失步现象 · 双轴同步偏斜:通道 1 与通道 2 之间的位置采样同步时钟偏差 < 3 ns,保障 X-Y 运动台联动插补的极高几何一致性 · 热漂移性能:在 22°C ±0.1°C 恒温环境测试中,板卡连续通电运行 48 小时,零点累计漂移 < 0.1 nm/h

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